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多晶硅母合金掺杂原理

多晶硅母合金掺杂原理

认识半导体XI——直拉法硅单晶的掺杂知乎

2022年9月26日根据杂质元素在与Si原子形成共价连接时是导致体系内电子的增加还是空穴的增加，可将掺杂杂质进一步细分为施主 (donor，提供多余电子，又叫n型掺杂，如磷、砷、锑等)和受主 (acceptor，提供多余空穴，又叫p型掺杂，因此，本文从掺杂AlB母合金和PAs硅锭两条主线出发，从原子密度角度研究了施主和受主杂质补偿后对多晶硅铸锭导电类型、电阻率和少子寿命等电学性能的影响规律铸造多晶硅的稳定掺杂及电性能研究 2012年8月29日所谓“母合金”就是杂质元素与硅的合金，常用的母合金有硅磷和硅硼两种，杂质浓度是10的2次方和10的3次方。采用“母合金”作为掺杂剂是为了使掺杂量容易控制、更准确。母合金产品介绍合能阳光（中国）公司（1）元素掺杂即直接将纯杂质元素加入硅中。它适于制备电阻率102~103Ωcm的重掺杂硅单晶。（2）母合金掺杂是将掺杂元素与硅先做成母合金（例如，硅锑合金、硅硼合金），根据母直拉单晶硅的制备掺杂百度文库

铸造多晶硅的稳定掺杂及电性能研究百度学术

多晶硅是光伏产业和电子工业的重要基础材料,其电学性能的好坏直接影响使用效率在实际应用中,多晶硅材料除了纯度要求外,对电阻率和少子寿命等电学性能的调控也非常重要,而电学性能的硅单晶P型掺杂剂：三族元素，主要有硼、铝、镓拉制电阻率低的硅单晶，一般用纯元素作掺杂剂拉制电阻率高的硅单晶则采用母合金作为掺杂剂掺杂计算理论与实践百度文库2022年4月17日本文不仅对70nm超薄多晶硅的掺杂特性、钝化性能进行了研究,并将磷掺杂超薄多晶硅应用于产业化6英寸(1英寸=254cm)大面积钝化接触电池中,所制备的钝化接触电池的电超薄多晶硅的掺杂钝化及光伏特性研究 Researching2012年8月1日专利摘要本实用新型公开一种母合金掺杂及补掺装置，包括掺杂外管、内管、调节组件、密封阀、抽真空组件和母合金槽；所述掺杂外管的一端为外转接口且另一端为封闭端的母合金掺杂及补掺装置的制作方法

第1讲直拉单晶硅绪论讲解百度文库

材料化学基础半导体硅材料基础多晶硅生产技术一、学习目标? 掌握直拉法制备单晶硅和铸锭多晶硅的生长原理及工艺；掌握直拉单晶硅和铸锭多晶硅的掺杂原理及方法；? 掌握硅晶硅生长在1972年国际电子器件会议上,日本富士通公司发表了一种新的半导体制造技术——掺杂多晶硅工艺,该工艺可应用于超高速集成电路和微波晶体管制作在电流型逻辑超高速集成电路及微波晶新的半导体制造技术——掺杂多晶硅工艺百度学术2022年9月26日根据杂质元素在与Si原子形成共价连接时是导致体系内电子的增加还是空穴的增加，可将掺杂杂质进一步细分为施主 (donor，提供多余电子，又叫n型掺杂，如磷、砷、锑等)和受主 (acceptor，提供多余空穴，又叫p型掺杂，认识半导体XI——直拉法硅单晶的掺杂知乎因此，本文从掺杂AlB母合金和PAs硅锭两条主线出发，从原子密度角度研究了施主和受主杂质补偿后对多晶硅铸锭导电类型、电阻率和少子寿命等电学性能的影响规律铸造多晶硅的稳定掺杂及电性能研究

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2012年8月29日所谓“母合金”就是杂质元素与硅的合金，常用的母合金有硅磷和硅硼两种，杂质浓度是10的2次方和10的3次方。采用“母合金”作为掺杂剂是为了使掺杂量容易控制、更准确。（1）元素掺杂即直接将纯杂质元素加入硅中。它适于制备电阻率102~103Ωcm的重掺杂硅单晶。（2）母合金掺杂是将掺杂元素与硅先做成母合金（例如，硅锑合金、硅硼合金），根据母直拉单晶硅的制备掺杂百度文库多晶硅是光伏产业和电子工业的重要基础材料,其电学性能的好坏直接影响使用效率在实际应用中,多晶硅材料除了纯度要求外,对电阻率和少子寿命等电学性能的调控也非常重要,而电学性能的铸造多晶硅的稳定掺杂及电性能研究百度学术硅单晶P型掺杂剂：三族元素，主要有硼、铝、镓拉制电阻率低的硅单晶，一般用纯元素作掺杂剂拉制电阻率高的硅单晶则采用母合金作为掺杂剂掺杂计算理论与实践百度文库

超薄多晶硅的掺杂钝化及光伏特性研究 Researching

2022年4月17日本文不仅对70nm超薄多晶硅的掺杂特性、钝化性能进行了研究,并将磷掺杂超薄多晶硅应用于产业化6英寸(1英寸=254cm)大面积钝化接触电池中,所制备的钝化接触电池的电 2012年8月1日专利摘要本实用新型公开一种母合金掺杂及补掺装置，包括掺杂外管、内管、调节组件、密封阀、抽真空组件和母合金槽；所述掺杂外管的一端为外转接口且另一端为封闭端的母合金掺杂及补掺装置的制作方法材料化学基础半导体硅材料基础多晶硅生产技术一、学习目标? 掌握直拉法制备单晶硅和铸锭多晶硅的生长原理及工艺；掌握直拉单晶硅和铸锭多晶硅的掺杂原理及方法；? 掌握硅晶硅生长第1讲直拉单晶硅绪论讲解百度文库在1972年国际电子器件会议上,日本富士通公司发表了一种新的半导体制造技术——掺杂多晶硅工艺,该工艺可应用于超高速集成电路和微波晶体管制作在电流型逻辑超高速集成电路及微波晶新的半导体制造技术——掺杂多晶硅工艺百度学术

铸造多晶硅的稳定掺杂及电性能研究

目前，对于冶金法提纯多晶硅的研究较多，但是对多晶硅铸锭中有意掺杂施主或受主杂质，掺杂元素补偿效应对电学性能影响的研究很少。因此，本文从掺杂AlB母合金和PAs硅锭两条主线出发，从原子密度角度研究了施主和受主杂质补偿后对多晶硅铸锭导电类型、电阻率和少子寿命等电学 2017年9月6日常用的母合金PSi、BSi、GeSb、GeGa等合金。（2）采用中间合金（母合金）掺杂时对母合金重量的计算 ①拉制P型硅或锗单晶时掺入母合金质量的计算：若掺入方式是掺入中间合金，比如硅硼合金的电阻率为ρ1，对应的杂质浓度CH，若在硅中投入中间合金重直拉单晶硅的制备掺杂doc毕业论文文档投稿赚钱网2023年8月22日多晶硅二、制备工艺与技术多晶硅的制备工艺多种多样，涵盖气相法、溶液法和凝固法等不同方法。这些方法各具特点，在不同领域应用广泛。气相法：气相法是制备多晶硅的一种重要方法。它基于热化学反应，将硅源多晶硅：制备、性质与应用的全面解析知乎按掺杂剂的形式可分为元素掺杂和合金掺杂。 (1)元素掺杂即直接将纯杂质元素加入硅中。它适于制备电阻率102~103Qcm的重掺杂硅单晶。 (2)母合金掺杂是将掺杂元素与硅先做成母合金(例如，硅锑合金、硅硼合金)，根据母合金含的杂质量相应的加入母合金直拉单晶硅的制备掺杂讲课讲稿百度文库

多晶硅母合金掺杂原理

掺杂原理介绍知乎 2023年10月26日掺杂原理介绍 Tom聊芯片智造杂质的掺杂是芯片制造中十分重要的一步，几乎所有的集成电路，LED，功率器件等都需要用到掺杂。那么为什么要掺杂？有哪（1）元素掺杂即直接将纯杂质元素加入硅中。它适于制备电阻率102~103Ωcm的重掺杂硅单晶摘要：多晶硅是光伏产业和电子工业的重要基础材料,其电学性能的好坏直接影响使用效率在实际应用中,多晶硅材料除了纯度要求外,对电阻率和少子寿命等电学性能的调控也非常重要,而电学性能的好坏与多晶硅中杂质元素的含量分布密切关联冶金法制备的多晶硅材料往往同时含有不同浓度的铸造多晶硅的稳定掺杂及电性能研究百度学术多晶硅母合金掺杂原理 T01:03:46+00:00 透视多晶硅：一文深入揭秘多晶硅及其生产工艺知乎 2023年5月12日多晶硅掺杂的方法有扩散法、离子注入法和原位掺杂法三种。扩散掺杂包括在未掺杂的多晶硅上沉积非常重掺杂的硅玻璃。这种玻璃将多晶硅母合金掺杂原理例题2：装入60kg高纯多晶硅，拉制成8～12 Ω cm 的掺磷单晶硅，需要掺入 6×103Ω cm 的母合金多少克? 解：以头部为11 Ω cm 计算掺杂较有保证，可查表得对应的目标浓度为 4×1014 ，查母合金6×103Ω cm对应的浓度为 C合金=11×1019 W=60000g 4×1014 拉晶教程百度文库

母合金的计算方法百度文库

使用 N 型母合金的主要是掺杂时发现低阻了，为了能够让产品电阻率达到使用要求,添加一些 N 型母合金。从原则上说,这是一种违规操作,硅棒尾部将会出现反翘,尾部电阻会比头部高 ຫໍສະໝຸດ Baidu下面我打个简单的比方：其实配母合金的原理很 2022年3月7日 12、合金。（2）采用中间合金（母合金）掺杂时对母合金重量的计算拉制P型硅或锗单晶时掺入母合金质量的计算：若掺入方式是掺入中间合金，比如硅硼合金的电阻率为1，对应的杂质浓度CH，若在硅中投入中间合金重为W1，因中间合金中的杂质含量相对硅的直拉单晶硅的制备掺杂 renrendoc母合金的计算方法跑阻，可根据实际情况和需要调整原料的电阻率（要求精确）母合金的杂质浓度所掺杂质的分凝系数杂质的蒸发；无论液体或熔体在合适的温度下，源自文库剂和溶质总是要蒸发，特别是在真空下尤为显著，因此蒸发必定影响溶质在母合金的计算方法百度文库2017年12月1日太阳能电池片科普系列——多晶硅铸锭篇中国光伏产业经历了风风雨雨几十年，无论是技术，还是成本都经历了翻天覆地的变化，随着市场对于高效率太阳能电池的需求，多晶硅铸锭工艺也在一丁一点的发生着变化，作为电池片原材料的源头，多晶硅铸锭所扮演的角色也就太阳能电池片科普系列——多晶硅铸锭篇北极星太阳能光伏网

什么是多晶硅溅射靶材靶材合金靶材溅射靶材北

2022年4月20日铸造多晶硅在生产过程中还需进行有意掺杂，其目的是改变硅熔体中受主杂质的浓度。行业界 P 型铸造多晶硅的主要掺杂剂是硅硼母合金，其中硼含量在 0025% 左右。掺杂量由硅片的目标电阻率决议，电阻率最优值为 2023年7月4日在光伏行业中，工业硅是制造多晶硅等材料的主要原料；工业硅还是有机硅的最主要原料，用于生产硅烷、硅酮、硅油等产品；在合金行业中，工业硅主要是作为非铁基合金的添加剂，将硅加入到某些有色金属中时，能提高基体金属的强度、硬度和耐磨性，有时还单晶硅，多晶硅，金属硅，工业硅，有机硅，详细科普图解 2011年6月3日多晶硅可作拉制单晶硅的原料，多晶硅与单晶硅的差异主要表现在物理性质方面。例如，在力学性质、光学性质和热学性质的各向异性方面，远不如单晶硅明显；在电学性质方面，多晶硅晶体的导电性也远不如单晶硅显著，甚至于几乎没有导电性。。在化学活性方面，两多晶硅百度百科2015年5月31日比如ZrO2中掺杂Y2O3，如何达到微观上的掺杂？2 、为什么掺杂之后能形成空穴而不首页知乎知学堂发现等你来答离子的性质（半径，电价等）越接近，取代引起的晶格畸变越小，最大参杂量越大（如一些合金，参杂离子和母体性质很相近时晶体掺杂是怎样的？（详见问题说明）知乎

多晶硅系列专题（一）：基础知识

2024年4月11日多晶硅的分类方法有多种：按纯度要求及用途可分为冶金级、太阳能级和电子级多晶硅；按照生产工艺可分为棒状硅、颗粒硅；按表面质量可分为致密料、复投料、菜花料、珊瑚料；按照掺杂元素可分为P型硅料、N型硅料。2021年6月18日本发明涉及单晶炉技术领域，特别是涉及一种掺杂装置、母合金制备装置及方法。背景技术随着新能源技术的迅速发展，光伏电池的研发越来越受到人们的重视。硅棒是光伏电池中的重要组成部分。目前在生产硅棒时，其电阻率的控制是通过融入特定电阻率的母合金实现的。现有技术中，特定电阻率一种掺杂装置、母合金制备装置及方法与流程一种P型硅母合金的制作方法技术领域本发明属于光伏电池技术领域，特别是涉及一种P型硅母合金的制作方法。背景技术光伏行业中的母合金是指化学元素周期表第三主族或第五主族元素与硅的合金，主要有硼硅合金和磷硅合金。母合金的作用是对多晶硅料进行掺杂，从而改变硅中施主杂质(如一种P型硅母合金的制作方法与流程 X技术网2010年7月28日母合金掺杂法把掺杂剂和多晶硅料制成母合金，根据母合金中掺杂剂的含量和目标电阻率的要求，计算母合金的用量；把母合金和多晶硅料同时放入石英坩埚中熔化。该方法适用于掺杂剂用量较少、目标电阻率较高时的单晶硅生长。而掺镓单晶直拉硅单晶的镓元素掺杂方法及所用掺杂装置的制作方法

直拉单晶硅的制备掺杂 renrendoc

2021年12月24日常用的母合金PSi、BSi、GeSb、GeGa等合金。2采用中间合金母合金掺杂时对母合金重量的计算拉制P型硅或错单晶时掺入母合金质量的计算：假设掺入方式是掺入中间合金，比方硅硼合金的电阻率为p 1,对应的杂质浓度CH,假设在硅中投入中间合金重为WI,因2022年11月25日本发明属于太阳能光伏材料技术领域，具体公开了一种掺磷硅母合金的制备方法。采用双温区水平炉，以磷化锌作为掺杂剂。在双温区水平炉内装有密封的石英水平安瓿。石英水平安瓿高温段装有石墨舟，石墨舟内放置多晶硅材料，低温段装有石英坩埚，石英坩埚内放置磷化 CNA 掺磷硅母合金的制备方法 Google Patents2015年3月7日集成电路制造技术原理与工艺王蔚习题答案目录第一单元习题2第二单元习题 4第三单元习题硅熔料含01％原子百分比的磷，假定溶液总是均匀的，计算当晶体拉出10％，50％，90％时的掺杂浓度。集成电路制造技术原理与工艺王蔚习题答案豆丁网母合金一般可以分为高温合金母合金、铝合金母合金、双相钢母合金、耐热钢母合金等材质。高温合金母合金是最常用的铸造母合金，主要用于制造飞机发动机叶片，燃料轮机耐热部件，涡轮增压器叶片等。双相钢母合金广泛用于工业泵阀，流体管道、弯头等耐腐蚀部件。高温合金母合金百度百科

半导体行业（九十二）——离子注入（十二）多晶硅

2020年12月13日抑制掺杂物扩散很重要，特别是防止P型金属氧化物半导体多晶硅栅中的硼原子扩散到N型多晶硅栅中，否则可能会改变晶体管的特性，因此引进了扩散阻挡离子注入，而且高剂量的氮注入多晶硅后将捕捉硼原子并防止它们扩散形成很深2023年2月19日掺杂半导体能带隙中杂质能级的示意图：(a) 施主能级；(b) 受主能级（1）施主能级在N型半导体中，施主杂质的存在将会引入施主能级。以在Si中掺入P为例，P原子所带来的多余的电子由于受正离子的吸引，能量较导带电子能量要低，同时，吸引作用比共价键的结合能要弱，因此其能量又比价带电子半导体的掺杂知乎杂量。常用的母合金 PSi、BSi、GeSb、GeGa 等合金。（2）采用中间合金（母合金）掺杂时对母合金重量的计算 ①拉制 P 型硅或锗单晶时掺入母合金质量的计算：若掺入方式是掺入中间合金，比如硅硼合金的电阻直拉单晶硅的制备掺杂百度文库2012年3月27日 1多晶硅的生产工艺：从西门子法到改良西门子法从西门子法到改良西门子法的演进是一个从开环到闭环的过程。1955年，德国西门子开发出以氢气（H2）还原高纯度三氯氢硅（SiHCl3），在加热到1100℃左右的硅芯（也称“硅棒”）上沉积多晶硅的生产工艺；1957年，这种多晶硅生产工艺开始应用多晶硅研究系列1：三大生产工艺的比较 1多晶硅的生产工艺

硅料检测设备产品介绍合能阳光（中国）公司

2012年8月29日合能阳光提供的硅材料检验仪器有：硅材料检测仪器，硅材料检验仪器，硅料检测分选仪, 硅料快速分选仪, 少子寿命测试仪, 氧碳测试仪, 原生多晶型号测试仪, 原生多晶电阻率测试仪, 硅芯电阻率测试仪, 硅片缺陷观测仪重掺镊拉晶工艺软件, 硅母合金, 籽晶, 镓掺杂剂杂量。常用的母合金 PSi、BSi、GeSb、GeGa 等合金。（2）采用中间合金（母合金）掺杂时对母合金重量的计算 ①拉制 P 型硅或锗单晶时掺入母合金质量的计算：若掺入方式是掺入中间合金，比如硅硼合金的电阻直拉单晶硅的制备掺杂百度文库